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晶体硅电池交钥匙工程解决方案
适用于旧线改造升级，对客户实施交钥匙工程。适用于单、多晶硅光伏电池片生产企业的新线建设，对客户实施交钥匙工程。
晶硅电池AGV智能生产线
取代人工搬运片篮、信息智能交互、资源智能管控，实现整线自动化生产，工厂智能化管理。
高效异质结(HJT)太阳能电池智能生产线
适用于高效异质结(HJT)太阳能电池片生产企业的新线建设。
n-TOPCon 太阳能电池智能生产线
单晶槽式制绒设备
主要对单晶硅太阳能电池用硅片进行绒面腐蚀和清洗处理。
槽式RCA清洗设备
用于扩散后的硅片去绕镀、清洗处理。
管式低压氧化退火设备
低压氧化、退火。
管式低压硼扩设备
低压、高温硼扩散掺杂。
管式低压磷扩设备
低压磷扩散掺杂。
槽式碱抛光清洗设备
用于扩散后的硅片抛光刻蚀、清洗处理，以及搭配双面电池背面制绒、清洗处理。
管式A&P设备
AlO+SiN薄膜沉积。
管式PECVD设备
SiN、SiON等薄膜沉积。
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